高性能射频电源.等离子体更稳定；
滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区；
可实现快速升温和降温功能；与传统CVD相比较，生长温度更低。
三路高精度MFC
量程0-500sccm（可定制）
射频功：5-500W；
射频频：13.56MHz；
匹配方式：自动匹配
