Nano analytik成立于2010年4月，技术源自德国伊尔梅瑙科技大学，公司的核心竞争力在于传感器、微系统和控制技术，公司宗旨是让纳米分析技术简单化，在保证科研严谨性的同时提高科研效率。

Nano analytik研发了一款基于新型扫描探针显微镜针尖的离子注入系统。该系统利用探针悬臂上紧邻针尖的小孔（小于 50nm）并结合扫描探针的精确定位，完成具有高度空间分辨率的单离子注入。应用此项技术可以制备纳米尺度的功能器件，例如可用于量子计算机的单电子晶体管。

单离子注入(SII)

技术特点：

• 精确定位定量离子注入

• 针尖悬臂上的小孔小于50nm

• 锥形电场稀释和准直离子束

• 横向电场形成离子闸门

应用领域：

• 功能材料定位掺杂

• 纳米尺度器件制备

• 固态量子计算机

工作原理示意图（纳米漏斗）

氮离子注入金刚石色心

场效应器件验证离子注入

扫描探针悬臂梁，扫描针尖及紧邻的小孔（50nm）

区域定位单离子注入 V.S. 随机掺杂

1.8nm单电子晶体管

2017年4月 欧盟科研项目

室温量子效应（库伦阻塞）