技术参数：

主要特点：

硬件:

采用新光学系统

1新型分光晶体，大幅度提高轻元素的灵敏度.

超轻元素对应的X射线光管(4kW，30薄窗)

48样品交换器

1次滤波片

双真空，双泵

粉末附件，防止污染真空泵

定点分析:最小直径500，MAPPING分辨率100

节省空间，节能

软件

新的SQX软件

委托分析EZ扫描

定角度测试模式

应用摸板

散射线FP法

流程条

其他软件

应用软件包