仪器简介：

JIB-47000F是集成扫描电镜和聚焦离子束于一身高性能仪器。电子光学系统采用场发射电子枪，可以对进行实时研磨监控。该仪器又是一个微区观察、样品分析、微区研磨的集合体，应用范围广泛。

技术参数：

FIB 分辨率: 5nm， 30kV

SEM分辨率: 1.2 nm（15 kV）1.6 nm（1KV）

FIB束流：最大90nA

SEM束流：最大300nA

气体输入系统 x1-3

主要特点：

1. 监控、切割、组装和三维图像重构连续操作

   2大束流，最大90nA

   3.提供**稳定的图像

   4.气体注入系统用于刻蚀和沉积

   5.最大装样 150 mm

   6.气锁式样品交换

   7.五轴全对中样品台

   8.多个样品分析接口

   9.三维图像、能谱、EBSD