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高纯气体分析六氟化硫气相色谱仪
高纯气体分析六氟化硫气相色谱仪图片
产地:上海
检测项目:特种气体微量杂质分析(HCl/SiH4/CF4等)
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产品介绍

产品展示:

仪器配置:

FPD + 气体进样系统 + SF6切换反吹系统 + 色谱柱系统、网络化电控系统、内置工作站

技术参数:

1、检测器指标

火焰光度检测器(FPD)

灵敏度(检测限)

≤5.0×10-11g/s(正十六烷)

基线噪音

≤0.1mv

基线漂移

≤ 0.5mv/0.5h

2、温度控制

温度范围:室温以上8℃-400℃

温控精度:±0.5%

程序阶数:8阶

程升速率:0-39℃/min(调节增量0.1℃/min)

程序升温重复性:≤1%

标气实测谱图

标气:SO2F2(硫酰氟):28ppm; S2OF2(亚硫酰氟):40ppm; S2OF10(十氟一氧化二硫):33ppm余:SF6(六氟化硫)

仪器特点:

1.全微机控制系统,电脑反控一台电脑可控制N(N≦253)台色谱仪,具有六路温度控制系统;四路时间程序系统。2.色谱仪采用10/100M以太网通讯接口,可以实现对仪器的远程控制和远程数据传输处理及监管。可连接到单位主管及上级主管,便于主管实行监管。

3.数字信号输出(内置色谱工作站),信号网线直接输出。

4.大容量柱箱带自动后开门,可进行8阶程序升温;近室温控制功能(室温以上8℃)。

5.具有故障自我诊断功能,随时显示故障部位及性质;具有超温保护功能,任何一路温度超过设定温度,均会自动停止加热。

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