仪器简介：

EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用****的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。

技术参数：

应用：

· 静态 /动态SIMS

· 一般目的的表面分析

· 整体的前端离子源，便于RGA和 SNMS

· 兼容的离子枪/ FAB 枪

· 成分/污染物分析

· 深度分析

· 泄漏检测

· 与Hiden SIMS 工作站兼容

主要特点：

· 高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围

· SIMS 成像，分辨率在微米以下

· 光栅控制，增强深度分析能力

· 45°静电扇形分析器， 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.

· 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输

· 差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至2500amu

· 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器

· Penning规和互锁装置可提供过压保护

· 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制