HT-RTA59HD超高温快速退火系统

HT-RTA59HD是一款桌面型的超高温点聚型快速退火炉，可在10s内将样品的温度升至1800℃。

应用：

1.碳化硅（功率器件）氧化膜形成与活化

2.高熔点材料热处理炉

3.烧结烘烤炉

4.局部加热冲击试验炉

5.晶体生长试验炉（区域熔化）

特点：

1.只需10秒钟即可将一小块样品（□15 mm）加热到1800°C（超高温区）

2.采用具有高反射效率的大功率点聚型金面反射炉

3.台式紧凑型设计

4.红外灯加热方法可实现清洁加热

5.它可以轻松地从PC输入外部信号或温度程序设置，并在显示器显示加热期间温度数据

参数：

结构：

1.灯泡冷却空气进气口

2.气体出口

3.N₂进气口

4.Ar进气口

5.灯

6.石英保护管

7.石英支架

8.滑轨，手动将样品移入-移出炉体

性能测试：

样品支架与样品台：