技术参数：

  日本YAMATO等离子清洗机、等离子灰化机、等离子蚀刻机

PDC200/210型等离子清洗机

  【简 介】

  本产品是用等离子来进行表面处理的专业装置。

  桌台式、具有高性能、力求操作简便、快捷、可显示数据。广泛应用于以电子材料为中心的各个行业中。

  【用 途】

  ● 用于CSP/BGA/COB基板的等离子处理

  ● 消除有机膜、金属酸化膜

  ● 用于印刷电路板的干式清洗

  ● 界面活性处理

  【特 征】

  ● RIE／DP模式

  ● 采用的电极构造可使等离子分布均匀

  ● 便于操作的触摸屏

【规 格】

型号：PDC 200 / 210

等离子的发生模式：附带RIE/DP切换器

电极构造：平行平板（电极固定）

高频输出：极值 300W / 500W

振荡频率：13.56MHz 石英晶体发振

控制/显示：液晶触摸屏

内槽尺寸：宽400×深250×高150mm

载物台尺寸（有效）：宽250×深170mm

内槽材料：铝材

反应气体：2系统（氩气、氧气）

清洗气体：氮气或干性气体

反应气体的流量控制：流量计/流量控制器

真空泵：旋转式真空泵（约345L/分）

气体输入口：反应气体用2个、清洗用1个

外形尺寸：宽540×深600×高600mm

电源：AC单相100V(50/60Hz)15A / AC三相200V(50/60Hz)15A

  德国等离子清洗机

  此离子清洗机可用于清洁、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器，以适应不同的清洁效率和清洁效果需要。

  小型等离子清洗刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点，主要适合于大学、科研机构高科技生产单位等场合：

  · 半导体开发

  · 集成电路开发

  · 真空电子行业

  · TEM、SEM样品及支架清洁

  · 生命科学实验

  与动辄十几万美元的大型产品相比GALA等离子清洁、刻蚀机具有以下优点

  1、可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序。

  2、不会对科研人员的身体造成任何伤害。

  3、其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。

  此等离子设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

  其具体应用包括：

  1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化

  玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是没有极性的，因此这些材料在进行粘合、油漆和涂覆之前要进行表面活化处理。

  2、金属去油及清洁

  金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。

  焊接操作前：通常印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。

  键合操作前：好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。

  3、等离子刻蚀

  特 点：

  · 操作简便、成本低廉

  · 处理舱 9.5cm x 27 cm和 15cm x 31.5 cm，可以分层方置样品

  · 不锈钢处理舱（其他厂家多采用铝制）

  · 高效真空电极

  · 气体流量通过流量计和针阀实现精确控制

  · 手动过程控制

  · 功率可在200W以内调节控制（完全能够满足清洁需要，200W以上功率用于刻蚀）

  · 自动阻抗匹配

  · 自由设置参数：处理时间、功率、气体、压力

  · 安全保护功能：真空触发、舱门锁

  FEMTO型等离子清洗机

  * 反应舱10cm x 27 cm， 水平 (2 升)

  * 不锈钢反应舱体

  * 40KHz射频发生器

  * 高效针孔电极

  * 铜气体管、气体流量计、 针阀

  * 使用气体流量计和针阀控制气体

  * 自动计时器控制等离子处理过程

  * 半自动控制

  * 功率0-100W

  * 自动阻抗匹配

  * 自由设置参数：处理时间、功率、气体、压力

  * 安全保护功能：真空触发、舱门锁

  * 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱

  * 规格：35 cm（W）×25 cm(H)× 60 cm(D) 重量 20 kg （不含真空泵）

  * 电源 230V/50Hz; 110V/60Hz

  选装件

  DUO 5 2级真空泵 5m3/h， 3x10-2 mbar （普通油）

  稳流调节阀 采用氧气和普通真空油时

  油雾过滤器 EMF10

  化学回旋器 缓和泵送气体

  化学回旋器用活性炭

  PICO型等离子清洗机

  * 反应舱 15cm x 32 cm， 水平 (5 升)

  * 不锈钢反应舱体

  * 40KHz射频发生器

  * 高效针孔电极

  * 数字计时器可自动设定操作程序

  * 皮拉尼真空泵可设定重复操作

  * 铜气体管、气体流量计、针阀

  * 使用气体流量计和针阀控制气体

  * 自动计时器控制等离子处理过程

  * 半自动控制

  * 功率可调至200W

  * 自动阻抗匹配

  * 自由设置参数：处理时间、功率、气体、压力

  * 安全保护功能：真空触发、舱门锁

  * 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱

  * 规格：60 cm（W）×30 cm(H)× 60 cm(D) 重量 35 kg （不含真空泵）

  * 电源 230V/50Hz; 110V/60Hz

  选装件

  DUO 5 2级真空泵 5m3/h， 3x10-2 mbar 双气体配置：管路、流量计、针阀

  13.56 MHz 射频发生器 2.45 GHz 射频发生器

  油雾过滤器 EMF10 化学回旋器 缓和泵送气体

  化学回旋器用活性炭