应用：

◆尼康(Nikon)和佳能(Canon)光刻机。

技术参数：

Tanehashi公司致力于向尼康(Nikon)和佳能(Canon)光刻机用户提供性能可靠的光罩盒。其产品适用于开放式卡盒（Open Cassette）光刻机。

主要特点：

◆产品成熟，质量可靠；

◆防静电（ESD），性能优良；

◆适用于5”或6”光刻机；

◆适用于单膜或双模的光掩膜。