摄像头传感器:              CCD GigE 1388x1038 Pixel， 17 fps

光源

:                      白光LED

系统组件

深层定位

:                  电动可调节到200 mm

X-Y定位

:                   圆柱直径为电动调节

可从70 mm调到155 mm

系统转动

:                  可手动旋转

Z-测量系统

:                WLI/压电式底座的测量范围为100um

测量转接器

:                用于安装在气缸上的转接器

滚动箱

:                   记录所有系统组件，包括工业PC对仪器的控制

评估

:                      MountainsMap影像地形

镜头选项

放大倍数                      10x            20x           50x

在平方微米的测量领域         1290x965       645x480       258x190

NA                            0，3            0，4           0，55

z方向分辨率<5 nm           <5 nm          <5 nm

XY方向分辨率                1，9 μm          1，0 μm         0，7 μm

选项                                                          

Cylanalyse             圆柱表面的分析评价