德国进口JETI过程质谱仪Versa PS 2000介绍
过程质谱仪 Versa PS 2000 是为在线透射测定和及时测量生产过程中的光层而设计的。它也可用于其他光学测试，例如：涂覆过程中液体或者反射光的光谱传输测量
PS 2000的特点
·快速精准测量 (测量时间低至10 μs)
·快速读取
·多种数据接口
·由外部位置传感器读出
·性能稳定可靠
Versa PS2000的固件能够预处理测量数据，所以我们的过程光谱仪能够处理计算进程数据，例如反射率和光层厚度Versa PS 2000也可与一个外部光源（卤素灯或者疝气闪光灯）
应用 数据
·在线光谱测试 ·USB (high or full speed)
·真空沉积的过程控制 ·LAN
·薄膜厚度测试 ·RS 232/ 422/ 485
·仪器仪表分析
·多通道光谱分析系统
产品描述
·存储的参考参数
·数据预处理， 暗信号矫正， **校准
·内部计算平均值、插值、传输率、反射率、吸收率、色度坐标等参数
·基于DLL的SDK和SCPI（仪器标准指令）可兼容的控制语法
·软件和硬件的触发
规格参数
| 光学参数 | |
| 光谱范围 | 200 nm ... 1000 nm |
| 光谱仪 | flat field holographic grating， aberration correction mirror |
| 光谱带宽 | ≤ 4.0 nm FWHM (100 μm slit) ≤ 2.5 nm FWHM (50 μm slit) ≤ 2.0 nm FWHM (30 μm slit) |
| 不对称因子 | ≥ 0.7 |
| 光输入 | 200 mm 光纤带F-SMA 905接头 |
| 波长准确性 | ≤ 0.2 nm (HgAr 线性光) |
| 波长重复性 | ≤0.02 nm (HgAr 线性光) |
| 杂散光 | < 0.2 % (ASTM E387， GG495， 波长 = 420 nm/ 600 nm) |
| 动力 | 取决于探头类型 |
| 探头 | 25 mm BTCCD， CMOS， NMOS* |
| 电子参数 | |
| 数字解析度 | 16 bit |
| AD噪声 | 2 counts RMS |
| 采样速率 | up to 4 MS/ s |
| 数据传输率 | up to 40 Mb/ s (via High Speed USB) |
| 集成时间 | 0.01 ... 65535 ms |
| 触发延迟 | 10 μs |
| 抖动 | ≤2μs |
| 数据接口 | USB Ethernet or RS 422/485 RS 232 |
| 电源 | 110 … 220 V or PoE (if Ethernet is used) |
| 机械参数 | |
| 体积 | 25 cm x 25 cm x 15 cm |
| 重量 | 3 kg |
| 标配清单 | 主机、配套软件、电源线、JETI软件开发包、操作手册 |
其他配件可依客户需求订配
