pGas200-ASM-SC-6s便携式半导体车间毒气检测仪规格型号如下：
一、pGas200-ASM-SC-6s 便携式气体检测仪
技术参数 | 技术 | 说明 |
PH3-4PH:0.05-20ppm SiH4-4SL:0.05-50ppm AsH3-3E1:0.015-1ppm Chlorides: 0.7-30ppm Fluorides: 0.25-10ppm H2:0-4%VOl | EC EC EC EC EC EC | 扩散式采样; 半导体车间全毒气报警， 有一定的区辩能力. Chlorides对HCl，SiH2Cl2， S2Cl2， GeCl4， PCl3， PCl5， POCl3， SiCl4， TiCl4， SiHCl3， C3Cl3N3都有响应; Fluorides对HF，COF2，S2F10，SO2F2，SnF4，C3F3N3都有响应; Gas200通过标定系统甚至可能对H2B6.GeH4，H2Se进行定性定量探测. |
二、PGas200-ASM-SC_4s 便携式气体检测仪
技术参数 | 技术 | 说明 |
Hydrides:0.05-50ppm Chlorides: 0.7-30ppm Fluorides: 0.25-10ppm H2:0-4%VOl | EC EC EC EC | 扩散式采样; 半导体车间全毒气报警， 有一定的区辩能力. Chlorides对HCl，SiH2Cl2， S2Cl2， GeCl4， PCl3， PCl5， POCl3， SiCl4， TiCl4， SiHCl3， C3Cl3N3都有响应; Fluorides对HF，COF2，S2F10，SO2F2，SnF4，C3F3N3都有响应; Gas200通过标定系统甚至可能对H2B6.GeH4，H2Se进行定性定量探测. |
三、PGas200-ASM-SC_3s1 便携式气体分析仪
技术参数 | 技术 | 说明 |
Hydrides:0.05-50ppm Chlorides: 0.7-30ppm Fluorides: 0.25-10ppm | EC EC EC | 扩散式采样; 半导体车间全毒气报警 |
四、PGas200-ASM-SC_3s2 便携式气体检测仪
技术参数 | 技术 | 说明 |
Hydrides:0.05-50ppm TOX:0-30ppm H2:0-4%VOl | EC EC EC | 扩散式采样;半导体车间全毒气报警 TOX-ADS02 对氯化物，氟化物，溴化物，硫化物，胺，苯类皆有高灵敏度响应. |
*其中H代表氢化物；Cl代表氯化物，包括氯化氢; F代表氟化物，包括氟化氢;
便携式半导体车间毒气检测仪技术指标:
BD4主机测试ADC分辨率: 0.025%FS
电化学探头准确度: ±1-2%读数(一般)
长期稳定性: +/-10% /年 (一般)
分析器响应时间：< 10ms
探头响应时间：<1min
仪器使用环境: 温度：-10℃～60℃; 湿度：10%～90%R（无结露）
仪器保存环境: 温度： 0℃～50℃; 湿度：10%～80%R（无结露）
电化学探头直接采样: 温度: 0-40℃; 压力:<1.1 kgf/cm2
供电: 6V充电蓄电池
连续使用时间: >24Hr/每次充电; 电池置放时间1周。
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