SimulTek 原子氧源

采用激光轰击氧分子，形成中性氧原子束流，性能如下：

1. 原子氧能量：4~7eV

2. 原子氧束流通量大于5.0×10¹⁵ atoms/cm²/s

3. 原子氧纯度大于95%

4. 束流均匀性优于90%