氩气纯化循环设备
一、原理说明:
氩气是大规模工业生产单晶硅,手套箱的保护气，它的要求之高，是控制经营成本必须重视的一个重要方面。
将排出含有杂质的氩气，除去固体杂质，经缓冲罐进入氩气压缩机升压,，经氩气纯化设备。采用非蒸散型锆铝16吸气剂为净化剂，在一定温度下，吸气剂可于氩气中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成稳定的化合物或固溶体，从而达到对氩气精制的目的。最后将净化后的氩气送入使用地点.
二、设备构成:
1 过滤器
2 压缩机
3 氩气纯化
6 电气控制箱
三、技术保障措施；
1 组合式过滤工艺，分级处理。
2氩气纯化采用特殊结构和装料方法，流速设计合理，气流分布均匀。
3氩气纯化采用特殊设计的加热构造，加热均匀、稳定。
4 采用优质管件，阀门，避免管道和阀门影响气体质量。
5 采用优质的电器元件和控制仪表，保证温度稳定，减少温度和影响。
6氩气纯化的活化程序，严格按照活化程序执行，根据现场实际情况适当调整。
7 对用户的操作员进行设备操作培训，了解设备工作原理，掌握设备操作方法，熟悉设备的开车、停车、停电、停水处理方法。