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单级旋片式真空泵TW-3A
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无油真空泵(226L/min)ACP15
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高质真空泵(240L/min)YTP550-4E16A
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球形脉冲激光沉积系统(PLD)
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快速升温CVD系统RTP-1000-F3LV
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生长纳米线CVD炉OTF-1200X-4-NW
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开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV
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高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV
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高真空快速CVD系统OTF-1200X-4-RTP-C3HV
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高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV
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带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV
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4路质子混气管式PECVD系统
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平行板电容式PECVD
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GSL-300-PLD激光镀膜设备
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OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉
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GSL-CKJS-560-B2磁控溅射
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GSL-CKJS-450-B1磁控溅射
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VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪
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GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪
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450型电子束蒸发镀膜系统
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高真空单室热蒸发系统
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VTC-180EVS溅射蒸发一体机
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六源有机无机联合蒸发镀膜设备
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GSL-ZDDZS-500电子束蒸镀
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微型PECVD系统
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超声波雾化模块MSK-SP-01A(含130W的电源控制器和喷头)
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气压整形喷头MSK-SP-01A-VSN
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EQ-300SP-I单通道注射泵
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VTC-100-SE基本型桌面式喷胶机
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VTC-200-SE 8寸柜式喷胶机
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TQ6D-SP石英喷嘴
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VTC-300USS-4超声雾化旋转涂膜机
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VTC-600-1HD单靶磁控溅射仪
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VTC-100PA-II加热型真空旋转涂膜机
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VTC-100PAH真空旋转涂膜机
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MSK-SP-04-LD超声雾化热解涂覆薄膜机,喷胶机
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MSK-NFES-4静电纺丝纳米纤维制备系统
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MSK-TH-04FA火焰辅助喷雾热解涂覆机,喷胶机
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