产地:北京
重量:3.5kg 最大真空度:5×10-7 Pa 抽气速率:62L/s 产品类型:无油泵 索取资料及报价
产品介绍 一、产品特点 n性能更优更全 n驱动一体设计 n功耗低发热少 n体积小重量轻 二、应用领域 n表面分析 n质普检漏 n科学研究 n其他小型真空系统 三、技术指标 型号 | FF-63/80型脂润滑复合分子泵 | 抽气速率（L/s） | Ar | 62 | 压缩比 | N2 | ＞1×109 | He | ＞2×105 | 极限压强（Pa) | LF63（N2） | <3×10-6 Pa | CF63（N2） | <5×10-7 Pa | 排气口法兰 | KF 16（DN） | 进气口法兰 | LF 63（DN） | CF 63（DN） | 轴承 | 脂润滑陶瓷轴承 | 额定转速（rpm） | 51000 | 启动时间（min） | 2 | 振动（μm） | ≤ 0.05 | 噪声（dB(A)） | < 55 | 建议前级泵（L/s） | 0.5～ 2 | 建议启动压强（N2）（Pa） | < 50 | 进气口流量（N2）（sccm） | ≤ 5 | 安装方式 | 任意角度 | 注油量 | 脂润滑（不需要注油） | 烘烤温度（℃） | ≤ 100 | 冷却方式（℃） | 风冷 | 5 ～ 32 | 水冷 | 5 ～ 40 | 冷却水 | 温度（℃） | 10 ～ 25 | 压力（MPa） | 0.15 | 流量（L/min） | 1 | 水嘴 | 内径Φ10直插自密封 | 重量（kg） | LF63 | 3.5 | CF63 | 4.8 |
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