ZQJ-560系列氦质谱检漏仪是我们公司集几十年氦质谱检漏仪研制经验，同时吸收国外先进理念自主研制的新型氦质谱检漏仪。该仪器总体上每一部分设计都体现我们公司的自主技术创新能力。

质谱分析器的离子源采用新型电离机理，用鼠笼式离子源代替经典的EI源，具有更高的电离效率。离子源是我们具有自主知识产权的专利技术，电离灯丝用长寿命铱金丝，磁分析器是180°非均匀磁场，离子加速电压800V，引出离子流更强。接收器也是具有自主知识产权的专利技术，接收离子束面积大，而且干扰小。

特征:

• 仪器灵敏度优于 ；

• 使用可靠性更高；

• PLC操作系统和彩色触摸屏显示器，直观，操作方便；

• 内部结构紧凑、合理、抗干扰性好；

• 仪器外观造型新颖，壳体用注塑和钢架结合，既美观大方又保证仪器的刚性强度。

• 该产品目前有两种型号：ZQJ-561是小型台式仪器，适合实验室使用；ZQJ-562是推车式，抽速较大，适合工厂车间使用。

仪器技术指标

• 最小可检漏率： 4×10¯¹²Pa·m³/s；

• 检漏测量范围： 1×10¯¹²Pa·m³/s～1×10¯⁶Pa·m³/s；

• 检漏口最大压强：100 pa

• 检漏响应时间：2S

• 系统真空度优于：1×10¯⁴Pa

• 仪器外形尺寸：525×405×420（L.W.H.）

仪器使用可靠性保证

由于氦质谱检漏仪的工作条件比较恶劣，因此对仪器的工作可靠性要求更高，我们对此采取了如下保证可靠性的措施：

• 离子源灯丝烧断是常见的故障，我们经过长时间研究，采用国际上先进的长寿命氧化钇铱金灯丝，使用寿命可达2年以上，即使系统偶而暴露大气也不易烧断。

• 真空系统采用原装进口的复合分子泵。

• 系统用的电磁阀是常见的故障之一，我们新研制的电磁阀经连续工作测试，阀的工作寿命达到10万次以上。

• 优化电路设计，选用可靠的电子元件，集成度高，减少过渡接插件的故障，便于维修、检查，使故障率减到最低。

• PLC控制、彩色触摸屏操作，系统的抗干扰能力和可靠性高。

仪器简介：

技术规格

1.使用方便：一键操作，全量程校准，快速启动，循环检测

2.性能可靠：5×105次循环检漏，两区域复合操作面板，4级操作权限适用不同操作者

3.功能强大：三种检漏方式（Normal，Gross，Sniffer），检漏灵敏度涵盖12个数量级，具有自身防氦污染功能

4.技术**：多种计量单位mbar·l/s，Pa·m3/s，Torr·l/s，适用各种用户，具有RS232通讯功能

重量：65千克 （65kg）

尺寸：长×宽×高（mm）：535×410×440

技术参数：

性能指标

1.最小可检漏率：＜5×10-12Pa·m3/s

2.测量范围：5×10-12～1 Pa·m3/s

3.允许检漏口最大压强：1000Pa

4.响应时间：＜1s

5.启动时间：＜2min

6.检漏口对He抽速：1.3l/s

7.工作温度：0°－ 45°

主要特点：

1.使用方便：一键操作，全量程校准，快速启动，循环检测

2.性能可靠：5×105次循环检漏，两区域复合操作面板，4级操作权限适用不同操作者

3.功能强大：三种检漏方式（Normal，Gross，Sniffer），检漏灵敏度涵盖12个数量级，具有自身防氦污染功能

4.技术**：多种计量单位mbar·l/s，Pa·m3/s，Torr·l/s，适用各种用户，具有RS232通讯功能

重量：65千克 （65kg）

尺寸：长×宽×高（mm）：535×410×440