仪器简介：

本仪器主要适用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。

技术指标：

 玻璃处理室：∮100毫米，高度130毫米

 试样台尺寸：∮40毫米可同时放6个样品杯

 金靶尺寸：∮58毫米

 真空系统：直联旋片真空泵2升/秒

 真空检测：皮氏计

 真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空

 工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节

 可以溅射铁、钴、铒