技术参数：

名义抽气速率注1 L/s 600

极 限 压 力注2 Pa 6×10^-8

6×10^-7

启动时间 min ≤7

振动 μm ≤0.1

噪 声 dB < 65

转速 rpm 36000

进气口通径 mm 160

出气口通径 mm 40

电源启动功率 W ≤500

电源消耗功率 W < 240

使用轴承 精密陶瓷轴承

冷却方式 水冷

安装方式 垂直

主要特点：

1.高极限真空

整体加工转子，加工精度、装配精度提高，转子强度得到提高，可运转于更高的工作转速，抽速、极限真空均得到提高。

2.大抽速

高压强区抽速进一步得到提高。

3.高可靠性

转子强度提高，重量进一步降低，采用陶瓷球轴承，分子泵的运转可靠性、寿命得到增强。

4.强抗冲击性

整体加工转子刚度得到提高。抗冲击、防大气突入能力进一步得到提高。

5.性能一致性

转子采用整体加工，克服了分片组装转子所不可避免的级间返流问题。减少了多个产品间性能的不一致性。