仪器简介：

溅射离子泵是一种获得清洁超高真空的真空获得设备，它具有清洁、真空度高、无噪声、无振动、操作方便等优点。离子泵工作是封闭系统，不需要有连续工作的前级真空系统。

溅射离子泵是无油超高真空机组的主泵，可应用于高能粒子加速器，受控热核反应装置、电真空器件、半导体材料制备、电子显微镜、质谱仪等科学实验装置及其它需要超高真空的工业设备中。

技术参数：

1.型号 2L-100 3L-100

2.入口法兰 CF150 CF150

3.抽速(升/秒) 氮气 120 110

氩气 1.2 24

4.启动压强(Pa) ≤5×10^-4 ≤5×10^-4

5.极限压强(Pa) ≤7×10^-8 ≤7×10^-8

6.烘烤(℃) 带磁铁温度 200 200

不带磁铁 300 300

7.工作电压(KV) +7 -5

8.抽气单元(个) 4 4

9.重量(kg) 30 30

10.加热罩 无 无

主要特点：

1.清洁

2.真空度高

3.无噪声

4.无振动

5.操作方便