参数
GVC-1000
GVC-1200
GVC-2000
GVC-2200
外形尺寸
424×2 65×260mm
424×295×260mm
424×265×260mm
输入电压
220V/50Hz (可定制 110V 输入)
溅射电压
2400V
600V
工作原理
直流溅射
磁控溅射
最大功率
500W
450W
靶材尺寸
φ57×0.1 2mm
可选靶材
金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属靶材
真空泵
旋片式真空泵 1L/s(可选配无油涡旋泵)
真空室
φ128×130mm
极限真空
0.1Pa(电阻式真空规)
抽气节拍
<90s
样品杯
φ90 样品杯 1 个/φ25 样品杯 4 个/φ15 样品杯 6 个
样品室进气接头
Φ4 快拧接头(外径 4mm,内径 2.5mm 气管)
样品室进气
自动
手动
可固定不动
放气
工作电流
2-30mA
任意可调
2-50mA
30-50mA
固定值
电压可调
否
是
颗粒大小
10-20nm
6-10nm
工作气体
空气或氩气
保护功能
过流保护(>50mA 自动切断)、真空保护(>100Pa 自动切断)
产品特点
全自动控制、简单易用
性价比高
膜层均匀,颗粒更细,可在较好的真空度下实现大电流溅射,基本无
温升,不损伤样品。
镀膜附着力
一般
较强
适用样品
通用样品(对温度不敏感),如无机盐粉末、耐火材料、纤维等。
所有样品,尤其是对温度敏感样 品,对覆膜颗粒度和附着力有要求的样品如电池隔膜、滤膜、各种生物样品等