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OmniProbe纳米操纵手
OmniProbe纳米操纵手图片
产地:英国
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产品介绍

OmniProbe 200

这是一款安装在FIB和SEM端口上的纳米操纵手,内置了一个100nm闭环反馈控制器,具有准确、灵活、易用等特点。使用闭环系统进行操作,完全独立于电镜样品台定位,从而为样品操作提供了额外的自由度。该专利利用定制的样品台和探针组合(CSP)可将样品重新定位到特定角度。

特色和优点

  • 包括第8代具有创新性的先进技术

  • 实现从纳米线操作到TEM样品制备,再到电学和机械测量的各种应用

  • 3轴样平台可以沿任意方向线性移动(全向性)

  • 在任何样品倾斜角度下都能实现正交导航

  • 将样品快速旋转到特定角度

  • 可以大范围内执行平稳而精确的操作

  • 即使在视野外也始终知道探头尖端的位置

  • 在任意端口安装都可以预测移动行为

  • 可以轻松地调出存储位置,减少操作员疲劳,并提高成功率

  • 避免碰撞

  • 气动插入/回缩链接到电镜软件(取决于OEM)

  • 内置能力,可为针施加最大+/- 10 V的偏压,用于电压衬度成像或其他应用

同轴旋转功能

同轴旋转分辨率可达0.1度,使样品在旋转期间一直处于相当于60um水平视场的放大倍率下成像。

  • 可以安全的完成样品旋转,没有任何碰撞的风险。每次旋转后,不需要重新定位样品或探针尖端

  • 在FIB中,这保证了对针尖打磨的速率及简易性,以改善电学特性表征的可靠性及对20nm以下特征样品尺寸进行操作时的精确性

自动化系统

  • 电脑和显示器

  • 2U机架式以太网控制器

  • 带有100nm线性反馈的3轴样平台

  • 运动控制软件界面

  • 用户手册和安装指南

OmniProbe 400

OmniProbe 400是第九代纳米操纵手,采用压电驱动技术,可以实现纳米级别的定位。OmniProbe 400具有很高的灵活性和性能,是高分辨率和高效率的纳米操纵手。

43表现

OminProbe 400可在大范围下轻松实现在SEM中的纳米级操作和测试以及在FIB中TEM样品的各种提取方案。

  • 4个自由度(X,Y,Z,R);

  • 4毫米或更长的工作距离;

  • 4个与重现型及精确性有关的参数:编码器分辨率、电机分辨率、重复性、线性度。

准确性

纳米分辨率压电马达和10nm闭环编码器提供专业水平的精度、线性度和平滑运动。

速度

多级自动化可以减少操作步骤,快速获得结果

  • 插入位置固定,无需反复对中

  • 无需放气即可在3分钟内完成换针

  • 同轴旋转可实现快速针尖打磨、针尖清洗和样品重新定位

  • 安全、精确地定位到样品附近的位置(该位置储存在系统中)以及回到初始位置

精确的闭环反馈控制

OmniProbe 400采用闭环控制,提供平稳的运动、可靠的精确度和高度的集成。除了极高的移动精度,OmniProbe 400还集成了电动同轴旋转和快速原位换针操作作为标配:

  • 对于易碎的样品,采用温和的非气动插入和收回操作

  • 高精度、高线性和高可重复性的运动

  • 可沿任意方向直线移动(全向性)

  • 在任何倾斜样品处正交导航

  • 将样品快速定向到特定角度

  • 远距离执行平稳精确的操作

  • 即使是在视野外,始终知道探头尖端的位置

  • 在任意有端口安装都可以预测移动

  • 使用固定的、以及用户可编程的设置来减少操作员疲劳,提高成功率

  • 避免碰撞

  • 同轴旋转

  • 原位换针

原位换针

  • 无需放气即可在3分钟内完成换针

  • 避免大气污染,保持高真空以获得良好的性能

  • 粘附到针尖的样品可以安全地存储供事后使用,提高效率

同轴旋转

针尖始终保持在视野内,以便快速进行针尖打磨和样品重新定向,而不会有样品丢失或意外漏气的风险。

  • 具有纳米级精度的定位

  • 延长的探针寿命

  • 精细的针尖具有明确的欧姆性质

  • 为利用范德瓦尔斯力进行纳米颗粒操作制备显微探针

  • 轻松制备平面样品、侧切样品和背切样品

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