产品介绍 OmniProbe 200 这是一款安装在FIB和SEM端口上的纳米操纵手,内置了一个100nm闭环反馈控制器,具有准确、灵活、易用等特点。使用闭环系统进行操作,完全独立于电镜样品台定位,从而为样品操作提供了额外的自由度。该专利利用定制的样品台和探针组合(CSP)可将样品重新定位到特定角度。 特色和优点
同轴旋转功能 同轴旋转分辨率可达0.1度,使样品在旋转期间一直处于相当于60um水平视场的放大倍率下成像。
自动化系统
OmniProbe 400 OmniProbe 400是第九代纳米操纵手,采用压电驱动技术,可以实现纳米级别的定位。OmniProbe 400具有很高的灵活性和性能,是高分辨率和高效率的纳米操纵手。 43表现 OminProbe 400可在大范围下轻松实现在SEM中的纳米级操作和测试以及在FIB中TEM样品的各种提取方案。
准确性 纳米分辨率压电马达和10nm闭环编码器提供专业水平的精度、线性度和平滑运动。 速度 多级自动化可以减少操作步骤,快速获得结果
精确的闭环反馈控制 OmniProbe 400采用闭环控制,提供平稳的运动、可靠的精确度和高度的集成。除了极高的移动精度,OmniProbe 400还集成了电动同轴旋转和快速原位换针操作作为标配:
原位换针
同轴旋转 针尖始终保持在视野内,以便快速进行针尖打磨和样品重新定向,而不会有样品丢失或意外漏气的风险。
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