仪器简介：

德国Klocke Nanotechnik公司生产的纳米级三维测量仪(3D Nanofinger)俗称纳米三坐标，是一种实用的纳米精度坐标和形貌综合测量设备。由台架、控制系统、探头、针尖组成. 可测量样品外形尺寸，表面轮廓、粗糙度等，并可与超精密微加工、微组装系统组合，进行在线检测、质量控制等。系统拥有5个自由度，可以根据样品设定测量路径，测量范围达到厘米级甚至更大。现已广泛应用于超精密机械加工、MEMS器件、半导体微电子加工、光学、分子生物学和精密工程。

技术参数：

设备主要参数：

测量范围:

X = 10， 20 or 50 mm

Y = 10， 20 or 50 mm

Z = 10 or 20 mm

采用花岗岩基底，XY方向行程扩展为： 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2

测量特性：

运动分辨率： 1 nm

针尖分辨率： 0.5 nm

水平与竖直方向均配有操纵传感器

线形轮廓测量

样品内部与外部轮廓测量

坐标测量功能

测量用探针:

针尖型金属丝， 尖端半径 < 100 nm

钩型金属丝， 尖端半径< 100 nm

圆形针尖， 直径 0.12-0.3 mm

金刚石针尖， 如用于表面压痕

软件：

针尖自动校准与逼近

2D 和 3D 图形功能

分析软件

自动化模块选项（序列发生器）

可选择的配置:

小型花岗岩平台式3D-Nanofinger

便携式3D-Nanofinger

3D-Nanofinger 模块，如集成到CNC机床内部

适合电镜中安装的3D-Nanofinger 模块

可安装到多功能检测工作台中

附件:

纳米精度自动旋转平台

摄像机

图形识别系统

主要特点：

1.纳米精度测量，而且是三维方向都可保持统一的精度。

2.测量量程跨越纳米到厘米，甚至分米级。

3.多功能多参数测量设备，可以涵盖三坐标、轮廓仪、形貌仪、粗糙度仪等的功能。

4.用户可以设定测量路径，这样就能沿着样品形状进行测量。适合复杂轮廓测试。

5.配合多种不同功能的探针，可以完成一般轮廓仪无法进行的结构测量。特别是结构内部。

6.用户可以根据需要灵活设置测量方法，可以进行大面积精确测量，也可以先进行大面积低精测量，然后对特定感兴趣的区域进行高精测量，以节省时间。

7.整个过程非接触的，间距可以保持在可以设定为几个纳米。适合各种固态样品测量，对材料性质没有特别要求和限制。

8.布局灵活，根据用户测试要求组成合适的系统。平台可以任意组合，探头也以改变安装方向。

9.如果和微加工设备组合，可以实现在线测量。