PSM是一台差式泵质谱仪（In-Line Plasma Analysers for Neutrals， Radicals and Ion Analysis），分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。

·差式泵歧管，通过法兰与过程反应室连接

·电子附着选件，具有可调谐的离子源，用于表观电势MS·Penning规和互锁装置可提供过压保护·信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布VS时间·标准分析中性粒子、自由基，+ve / -ve 离子分析可选

·灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆

·质量数范围： 0 ～ 2500amu

·脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围

·能量分析选件，标准 ±100eV（1000eV可选）

·Mu-Metal， Radio-metal屏蔽可选，高压操作可选·通过RS232、RS485或Ethernet LAN ，软件MASsoft 控制