Hiden SIMS Workstation二次离子质谱仪
产品介绍 仪器简介: 1. 适合做多层薄膜的深度分析。 2. 很好的、耐用的、普通目的的二次离子质谱仪。 3. 方便使用。 4. 样品可以手动转换,由于分析速度快所以每天可以分析一定数量的样品。 5. 我们的系统可配置快速原子枪,使我们可以轻松处理绝缘的样品。 6. 我们还可以做元素成像(就象化学地图)和混合模式扫描,自动测量正、负和中性粒子。 7. 我们的系统是典型的超高真空工作台,很容易满足很多其它分析的使用。 结构紧凑,但不损失性能。真正的高性价比。 技术参数: 质量数范围:300,510或1000amu 分辨率:5%的谷,两个相连的等高峰。 检测器:离子计数检测器,正、负离子检测 检测限:1:10E7 质量过滤器:三级过滤四极杆(9mm杆) 主离子枪: A,氧离子或其它气体,能量到5KeV B,Ga离子枪,能量25KeV(选配) 空间分辨率:A:100~150um B: 50nm 取样深度:2个单分子层(静态) 不受限制(动态) 主要特点: ? 高灵敏度脉冲离子计数检测器,7个数量级的动态范围 ? SIMS 成像,分辨率在微米以下 ? 光栅控制,增强深度分析能力 ? 所有能量范围内,离子行程的最小扰动,及恒定离子传输 ? 差式泵3级过滤四极杆,质量数范围至1000amu ? 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器 ? Penning规和互锁装置可提供过压保护 ? 通过RS232、RS485或Ethernet LAN,软件 MASsoft控制 |
相关产品
|