高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)
产品介绍 仪器简介: ESPion高级朗缪尔探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断,是***可靠的朗缪尔探针(Langmuir Probe)。 技术参数: 应用: · 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体 · 脉冲等离子体操作 · 离子密度 (Ni & Gi) · 电子温度(Te) · 电子能量分布(EEDF) · 电子密度(Ne) · 等离子体电位 · Debye 长度,悬浮电位 主要特点: · 获得数据速度:每秒15次扫描,通过D-O-E-界面可以自动、半自动或手动分析 · Hiden在被动射频补偿方面处于**地位,在所有的商业化探针中 ESPion 具 有***屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) · 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链,使用者可调谐至其他频率 · 参考探针补偿用于抵制较低频率影响,例如等离子体电位漂移(例如,反应室 内腔阳极氧化所致) 或噪音(例如,供电源引起) · ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针,ESPsoft 包括所有 必需的标准脉冲选通电路 · 300、600、915mm 自动线性驱动器可选,互锁隔离阀, 90°探针,组合式 线性-旋转驱动器可选 · 自清洗循环,防止探针尖端污染 · 经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制 |
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