仪器简介：

**一代 Dimension系列 AFM

Dimension Icon 原子力显微镜(AFM）的性能、功能及附件等方面具有全新表现，在聚合物、半导体、能源、数据存储及材料领域的纳米研究中将会得到广泛应用。Dimension Icon是Dimension系列产品中的**款设备，它基于世界上应用最广泛的AFM平台，集合了数十年的技术创新、行业内**的应用定制及客户反馈等于一身。这个系统经过从上到下的设计，在易用性、高分辨率及快速成像等方面有突出表现。

技术参数：

X-Y方向扫描范围：90um *90um典型值，最小85um

Z方向扫描范围：10um典型值，在成像及力曲线模式下；最小9.5um

垂直方向噪音基底：<30pmRMS， 在合适的环境及典型的成像带宽（达到625Hz）

X-Y定位噪音（闭环）：<0.15nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz）

X-Y定位噪音（闭环）：<0.10nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz）

Z传感器噪音水平（闭环）：<35pm rms， 典型成像带宽（达到625hz）

整体线性误差（X-Y-Z）：0.5% 典型值

样品尺寸/夹具：210mm真空吸盘样品台，直径210mm， 厚度15mm

电动定位样品台（X-Y轴）：180mm*180mm可视区域；单向2um重复性；双向3um重复性。

显微镜光学系统：五百万像素数字照相机

180um至1465um可视范围

数字缩放及自动对焦功能

控制器：NanoScope V型控制器

工作台：整合所有控制器、结合人体工学设计，提供直接的物理或可视借口

震动隔绝：整体式气动减震台

声音隔绝：可隔绝环境中85 dBC的持续噪音

主要特点：

结合Veeco**的行业**的针尖-扫描AFM技术，Icon的温度补偿定位传感器使Z轴的的噪音水平达到亚-埃米级，X-Y方向达埃米级。在大样品台、90微米扫描范围系统的仪器当中，这种表现是非常突出的，优于绝大部分的开环、高分辨率AFM系统的噪音水平。

Icon不仅具有非常好的分辨率，它还具备许多新的特性，以增加新老AFM用户操作仪器的便捷性及出图像速率：

• 专利设计的扫描管，实现闭环扫描功能同时，具有开环扫描管的噪音水平，在大样品AFM系统中实现****的分辨率

• 全新设计的XYZ闭环扫描管，在不影响图像质量下具有非常高的扫描速度，具有非常快的数据采集能力

• **的NanoScope软件版本，提供直观的操作流程及默认实验模块，将复杂的AFM操作流程转化为预先设置

• 高分辨率的照相机及X-Y定位，实现更迅速、更有效的样品定位

• 完全开放的针尖及样品环境，适用于绝大部分的标准或定制实验

• 硬件及软件设置适用Veeco现有的及即将推出的所有模式及技术，包括现有的***的HarmoniX纳米材料性能成像模式