Femto Science 等离子清洗机表面处理设备 CUTE

北京燕京电子有限公司

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Femto Science 等离子清洗机表面处理设备 CUTE

产地:韩国

清洗液类型:暂无此参数

外部尺寸(L×W×D):暂无此参数

加热功率:暂无此参数

清洗温度:暂无此参数

腔体容积:140mm x 200mm x 110mm

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产品介绍

Femto Science 等离子清洗机表面处理设备 CUTE

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简介

CUTE系列等离子清洗机来自韩国FemtoScience公司，是一款无损伤的等离子体处理表面处理系统，其独特的设计保证了高度稳定和均匀辉光放电等离子体产生，可应用于微流控、组织工程、石墨烯、2D材料等纳米科学以及微电子领域，适用于诸多材料表面清洁、疏水性增强、层间粘附、刻蚀等操作，标配一路自动气体流量计，可实现对工艺气体的准确控制。

CUTE系列等离子清洗机，其舱体采用铝合金制作，坚固耐用且抗腐蚀，其舱体自带显示屏，配合显示屏下方的操作按钮，使用简单，方便快捷。

规格参数

项目	参数
舱体材质	铝合金
舱体内部尺寸	140mm x 200mm x 110mm
电源频率	20～100kHz
电源功率	zui大100W 可自由调节
标准气体输入	1 x 气路
额外气体输入	2 x 空管道可供升级
气体流速控制	MFC自动控制
zui大流速	100sccm
气体流速控制精度	满量程的1%
真空泵抽气速率	80L/min
zui小真空	1 x 10^-3 Torr
真空测量范围	大气压～ 5 x 10^-5 Torr
显示	彩色触摸屏，图形化控制界面
操作员分级	2级操作人员分级
程序	可进行半自动控制和全自动编程控制
参数存储	zui大10组工艺参数储存，每组工艺包含zui多10个工艺步骤

功能图解

应用系统

PDMS芯片制作

石墨烯，2D材料表面处理

Bio-MEMS

组织工程

食品科学