Best tools 匀胶显影一体机 SC100D
产品介绍 Best tools 匀胶显影一体机 SC100D 图片 简介 SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统,被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。 SC100D在SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩,可配备四路喷淋系统,包括显影液和去离子水等,以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括:喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。 SC100D使用工业级伺服马达和PLC控制,7寸全彩触屏人机操作界面。设计结构紧凑、简单易用,可进行程控操作,具有优异的性价比。 规格参数
功能图解 SC100D 外形尺寸 应用系统 PDMS芯片制作 MEMS器件加工 |
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