日本ULVAC公司目前生产的射频RF电源RFS-N系列，

包括RFS-1305N输出500W，RFS-1310N输出1KW两种.

频率为13.56MHz.配备高效RF放大器，小型化轻量化.

内藏有自动匹配控制，通过分体式操作面板，

既可控制功率输出及匹配.自动计算异常反射CUT时间，快速遮断电弧重启.

特长:

1.采用频率13.56MHz高效放大器.通过高效功率变换电路节省能源.

2.通过高速匹配步进电机控制变速.

3.RF电源内藏自动匹配控制，通过一个标配控制器既可操作控制电源及匹配器.

4.高速自动匹配，速度快.可匹配覆盖范围广.

5.平稳实现外部模拟控制，串行通信控制.电源本体与触摸屏呈分体式

6.两台同时工作时，可三百六十度调整相位.

7.强制空冷.

参数:

射频电源本体

型号RFS-1305NRFS-1310N

输入AC180V～240V单相AC180V～240V单相

输入容量1.2kVA以下2.0kVA以下

振动频率13.56MHz±0.05%13.56MHz±0.05%

最大进行波输出500W1000W

最大反射波电力100W100W

线性额定输出±2%以下额定输出±2%以下

外形尺寸240Wx500Dx150H240Wx500Dx150H

质量12kg以下12kg以下

匹配器

型号MBX-1305NMBX-1301N

电大允许电力500W1000W

输出阻抗R:0.5Ω≦R≦10.0ΩR:0.5Ω≦R≦10.0Ω

冷却方式强制空冷强制空冷

外形尺寸375Wx250Dx170D375Wx250Dx170D

质量10kg10kg

耐电流40A40A

耐电压2.5kV(0-peak)2.5kV(0-peak)