意力博通溅射仪ETD-3000
产品介绍 ETD-3000型离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,最简单、可靠、经济的镀膜设备。 适用于电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作。 1. 配置有样品溅射室真空表和溅射电流表,用以指示、监控仪器状态; 2. 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体,获得**镀膜效果; 3. 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈,可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象; 4. 陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用; 5. 根据电场中气体电离特性,采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。 配置参数如下: 2主机规格:L360mm*W300mm*H380mm 2靶(上部电极):金:直径:50mm,厚度:0.1mm 2真空样品室: 直径:160mm,高:120mm 2溅射面积: Ф50mm 2真空指示表: 最高真空度:≤ 4X10-2 mbar 2离子电流表: 最大电流:100mA 2定时器: 最长时间:3600S 2微型真空气阀: 可连接φ3mm软管 2可通入气体: 多种 2最高电压: -3000 DCV 2机械泵: 2L/S |
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