Johnsen Ultravac XYZ样品台接口法兰的尺寸为外径2.75’’(波纹管内径1.5’’) ～ 外径13.25’’(波纹管内径10’’)。样品台坚固耐用，可以承受很大的重量，特别适用于表面化学和物理应用、MBE和操作与定位多样品等领域。XY样品台可以作为独立的单元或者与线性移动装置联合使用。

技术参数：

XYZ样品台使用不锈钢焊接，可以在10-10Torr真空中使用。针对不同使用条件的要求，我们可以提供：

X&Y移动范围：±0.50’’--- ±4.00’’

波纹管内径： 1.39’’--- 12.00’’

基座法兰外径：2.75’’--- 14.00’’

极坐标旋转：360度

方位角旋转：±180度

倾斜：±30度

可加热温度：1200℃

LN制冷温度：-160℃

LHe制冷温度：10K

衬底基片尺寸：≤300mm

承载重量：225kg （4000系列产品）

主要特点：

1000型系列产品

该系列特别适用于快速进样室、样品制备室、放置台和样品处理台，它很容易地改装成多样品的托架。1000型产品采用聚四氟乙烯轴承支撑的齿条-小齿轮传动装置，齿条的材料为不锈钢经电子抛光加工而成。连接终端可自由调节，灵活性强。

2000型系列产品

2000型直线型移动装置采用挤压铝材料经阳极化抛光制成，可以烘烤到250℃。波纹管法兰的尺寸为2.75’’、3.38’’和4.50’’。Z方向上的移动采用了不锈钢ACME螺丝-铜螺母驱动，并由不锈钢导杆支撑，每旋转一周，Z方向上将移动5mm。用户可以选配气压缸组件来驱动Z方向上的移动。

2000型可以用于样品的转移和处理过程中，具有加热和冷却、马达驱动、旋转平台和XY平台等功能与配置，且用户可以自由选择垂直或水平安放。

3000&4000型系列产品

该系列产品采用高等级的铝材料经阳极化抛光而制成的，可以烘烤到250℃。坚实的结构使得该产品具有最强的承重能力，并可垂直或水平安放。Z方向上的位置的准确性为0.1mm，每旋转一周，Z方向上将移动1mm。