Local Scrubber
产品介绍 应用领域: ◆Solar ◆LED ◆Thin Film ◆Etching ◆Diffusion 技术参数: WTC-100: NH3>99% BCL3>99% HCL>99% Cl2>99% (+NaOH) HBr>99% WTC-200: NH3>99% HCl>99% PH3>99% SiCl2H2>99% SiH4>99% WF6>99% H2>99% ClF3>99% WTC-300: TEPO>99% B2H6>99% NF3 >95% NH3 >99% PH3 >99% SiH4>99% TEB>99 TEOS>99% WF6>99% MA>99% HCl>99% HF>99% GeH4>99% SiCl2H2>99% 公司介绍: 汉科系统科技创立于公元1990年,经营团队多年来的努力已成为全方位系统整合的领导厂商之一,汉科团队的专业技术能力和丰富的工程实务经验,成立了全方位的系统整合服务平台。 汉科系统科技获得的国际质量管理的认证有ISO 9001, SEMI S2, 和OHSAS 1800。公司内部严格的控管生产及施工步骤,如工安管制,质量管理,采购控管、项目进度控制、现场协调、预算控制、材料查验...等。 产品优点: ◆简单界面,易于操作; ◆粉尘捕捉效率高; ◆节约用水; ◆符合工厂设备安全要求; ◆PM周期长,且PM时间短; ◆运行成本低; ◆可根据客户需求,提供客制化服务。 ◆客服响应时间短,备品备件充足 |
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