应用：

◆半导体、研究所等需要用到晶圆分拣的单位。

技术参数：

Genmark 公司的Sort-Max是一种快速、稳定、洁净的晶圆分拣器。Sort-Max可以适用于100mm～300mm的晶圆或光罩。它的功能包括分拣、检查、lot分离、储存、合并、ID扫描和FOUP平衡等。

主要特点：

◆快速、稳定、洁净；

◆可定制化；

◆吞吐量高；

◆自我调节。