CDG025D-X3
产品介绍 INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计, 在苛刻的生产环境中 具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点, 如一键调零功能和设点 调整. 抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有**的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的 长使用寿命. 独特的传感器屏蔽 (专利技术) 保护真空计防止过程污染. 坚固耐用的机械结构和数字 电子学加强了EMC 兼容性, 长期稳定性和温度补偿性. CDG025D 真空计为从电源接通后的快速 稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准. 优点 ■ 全刻度范围从 100 毫乇… 1000 乇 ■ 电源接通后快速稳定 ■ 暴露大气压后快速恢复 ■ 抗腐蚀性陶瓷传感器 ■ **的长期讯号稳定性 ■ 温度补偿 ■ 保护传感器防止污染 ■ 一键调零功能 ■ 宽范围电源 ■ 两个设点 ■ RS232接口 ■ 符合清洁室条件 用途 在要求高的应用中用于精确和快速的压强测量: ■ 用于刻蚀, CVD, PVD, ALD 等半导体制造设备 ■ 数据贮存和显示器制造设备 ■ 工业真空设备 ■ 一般高精度压强测量 |
相关产品
|