XTC/3薄膜镀层控制仪
产品介绍 简介 先进,实用的单层和多层镀膜速率控制 用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3 装备有ModeLock1专利技术,提供验证的模式跳跃防止功能,可达到始终如一的镀膜质量. 使用XTC/3薄膜镀层控制仪,可高度精确地控制镀膜速率与膜层厚度, 具有能控制几乎任何膜层数量的能力,容易安装,和极高的可靠性,可确保高的生产率.
■ 有单膜层和多膜层型号 ■ ModeLock专利技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差 ■ 支持INFICON Crystal 12™, CrystalSix®和双传感器自动晶体切换,用于最高生产率 ■ XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程, 999个膜层, 32个镀层, 2个传感器和两个源 ■ XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层, 2个传感器和两个源 ■ 易阅读的TFT LCD图形显示器 ■ 为便于检索,可指定独特的和描述性的薄膜与过程名称 ■ 有以太网连接件 ■ 单独运行(无需计算机)或用PC运行的Windows®软件选件 ■ INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换件(限于XTC/2功能和指令组) 应用: 集成电路执照 光学镀膜 溅射镀膜 薄膜太阳能电池制造 OLED制造 |
相关产品
|