INFICON 生产的Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计， BPG402-S，两

种真空计集成在一个小型的单元内，测量范围从5x10-10 毫巴至大

气压(3.8x10-10 乇至大气压). 复合的技术降低了安装，设置和集成

的复杂性.在一个小型外壳内装有双敷涂钇的氧化铱灯丝的

BPG402-S 用于频繁与重复的工艺过程中测量基本压强. 带有在

机校准数据的敏感元件保证更换传感器的高度再现性.

优点

极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10 乇至大气压)

极好的重复性，过程压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%

皮拉尼连锁保护灯丝，防止过早烧毁

双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝

可选图形显示和现场总线接口

自动高真空皮拉尼调整，减少操作人员的干预

容易更换具有在机校准的传感元件，保证高度重复性

应 用

半导体工艺和输送室中的压强测量

工业镀膜

一般真空测量和控制，从低至超高真空范围