SU-8光刻胶轮廓修改剂
产品介绍 需要在负胶的SU-8实现正胶轮廓?? 新产品光刻胶轮廓修改剂带来了新的契机。 轮廓修改剂直接旋涂在Pre-baked的SU-8光刻胶顶部,降低了光刻胶膜顶部的光灵敏度,取得了正型的侧壁。 影响SU-8轮廓效果的原因 1)光刻胶类型及厚度 2)XP TQC胶的厚度 3)曝光量 4)显影后的去膜量 5)曝光类型(靠近或软接触) 正锥形轮廓: 1)在Micro-Molding应用中,实现模具去除步骤 2)需要在结构的顶部和侧壁上的后续金属沉积步骤 |
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