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PS4L 半自动探针台
PS4L 半自动探针台图片
产地:美国
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产品介绍

PS4L 半自动探针台

SemiProbe是美国一家**的专业探针台研发与制造公司,拥有多项专利技术,提供完整的所有探针测试的产品与解决方案。其产品包括全自动,半自动,手动探针台,MEMS测试探针台,双面测试,超低温,高真空探针台等等。SemiProbe 设计制造创新性模组化探测检测系统,客户遍及世界各地,其中包括大专院校、政府科研实验室、各类半导体制造公司、涉及微机械、纳米技术、光电技术、光伏技术等领域,为科研以及制造提供经济高效、实用、扩展性强的探测系统。同时SemiProbe还为用户提供强有力的技术支持,可针对用户的具体应用需求,定制相对应的产品和技术方案。


我们有可以解决您所面临问题的一套***方案,PS4L 全自动探针台是基于SemiProbe可适应性机构专利研发的一套系统,与传统检测系统不同,PS4L 全自动探针台所有的基础组件:基座、平台、夹具、显微镜装置、显微镜移动、光学部件、操纵装置等,都是可以更换的。这些特征使得PS4L 全自动探针台可适应不同应用需求,并且成为节省经费的**选择。这种独特的设计能够准确满足客户的要求,更重要的是,PS4L系统能够进行现场升级,以适应环境测试条件的改变。PS4L系统的设计理念,与传统检测设备相比,能够让客户节约更多时间,更多成本。


凭借60年的实践经验,美国品牌SemiProbe可以迅速为您提供各种定制化方案,以解决不同的难题。我们的宗旨就是让客户使用最少的资金获得**的技术、更及时的响应市场需求。

SemiProbe产品的独特优点有:

1.SemiProbe**专利技术的模块化结构设计,可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级,且升级可在客户现场进行,机台不需返厂。其中PS4L系列产品,可以在PS4L基础平台上,由手动探针台升级为半自动探针台,半自动探针台升级为全自动探针台,或者由6''升级为8'',8''升级为12'',增加密闭测试仓,增加高低温等等。这些独特的优点,目前在业界独此一家。

2.SemiProbe的产品,全部都在美国本土设计制造。

3.SemiProbe的另外一个优点是直流探针座和RF探针座通用,用户只要一种探针座,换上直流或RF探针,即可做不同的测试,既方便又节省成本。目前业界其他公司的产品,多数直流探针座和RF探针座是不一样的,并且价格昂贵,无法通用。其超高精度的亚微米级探针座,保证了高端精密测试的需求。

产品优势:

1.可满足最大18英寸的晶圆基底的测试要求,并能兼容处理12/8/6/4英寸硅片及碎片。

2.主要应用领域:器件性能、MEMS、光电子学、纳米研究、光伏电池、失效分析及材料等相关领域。

3.可做直流和微波测试。

4.系统可在客户现场升级。

5.可增加高低温及屏蔽系统

6.手动探针测试方式,扎针对准方式灵活。

7.可方便搭载loadpull, 激光测振及电学信号测试等不同的外围设备。

8.可搭载各种规格探卡。

9.主要部件可依据实际要求定制。

PS4L 半自动探针台

SemiProbe的PS4L 半自动探针台是模块化结构设计最明显和最灵活的半自动探针台。它采用了SemiProbe**专利技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计,提供了****的灵活性和大大地为客户节省了资金费用。PS4L 半自动探针系统可满足客户对精准的规格参数的要求。

产品特征和优势:

1.150mm半自动系统可升级到200mm

2.可选尺寸:100 mm (SA-4) 150 mm (SA-6) 200 mm (SA-8) 300 mm (SA-12)

3.所有关键部件都是可以更换的,这样确保了系统可再配置符合现在和以后的各种应用和预算要求。

4.软件和硬件模块提供了**性的现场升级

主要应用:

设备特性,MEMS,光电,光伏,HF /微波,失效分析,研究,材料科学等领域

技术参数

尺寸:750 mm X 650 mm X 750 mm (29.5” x 25.4” x 29.5”) (W,H,L) – with optics
重量:95 Kg (210 lbs.)
夹盘平台X-Y移动:

Travel: 155 mm x 155 mm

Speed: 50 mm/sec (max)

Resolution: 0.5 μm

Repeatability: +/- 1.0 μm

A ccur acy: +/- 2 μm

Planarity: +/- 10 μm over travel r ang e

Nema 17 stepper motor

Optical linear encoder

夹盘平台Z移动:Z Travel: 10 mm

Resolution: 1.0 μm

Repeatability: +/-2.5 μm

Theta移动:T r a v el: +/-10 degrees (User specified)

Resolution: 0.29 arc-secs, (0.0018 deg r ees)

夹盘:V acuum or mechanical clamping, round or square, ambient, thermal and cus t om

Handle die, waffle packs, sawn wafers on frame, broken wafers and full wafers up to 200 mm

Nickel plated steel with concentric vacuum rings (standard), other plating materials available

Planarity: 8 μm

压盘:Aluminum with stainless steel top

360 degree manipulator placement

Manipulator fixation – magnetic, vacuum

压盘移动:

Platen Lif t : Choice of fixed or adjus t able

A djus t able: Coarse – 25 mm, Fine – 6 mm

显微镜安装/移动:Mounting – Boom, Post or Bridge

Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm, 50 x 75 mm, 100 x 100 mm

光学:Stereo Zoom, Zoom T ube, A-Zoom or Compound Microscope
其它工具:Power: AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A

V acuum: 23 Hg or -0.8 bar

备注:规格参数的数值取决于探针系统的配置和配件要求

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