NanoSystem 非接触式3D轮廓仪 NVM6000P
产品介绍 产品描述 NVM-6000P是专用型设备,用于基板表面形貌的测量。 基板上的Via Hole,Pad形状,pattem形貌和表面形貌等11个项目可以进行自动测量。 在高速测量下仍具有优秀的重复性和准确性,支持用户设定测量条件和测量数据自动保存及分析功能。 产品规格 扫描范围:0-180um(270um可选) 垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm 台阶高度重复性:﹤0.5%(1σ) 横向分辨率:0.2-4um(取决于物镜和FOV) 工作台面:510X405mm(程控) 尺寸:1200(w)X1250(D)X1900(H) 应用领域 Nano View系列为LCD(液晶显示器)、IC Package(芯片封装)、Substrate(基板)、Build-up PCB(积层板)、MEMS(微机电系统),Engineering Surfaces(工程表面)等等领域提供纳米级别精度的量测。 |
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