小型大行程纳米促动器

小型大行程纳米促动器

应用领域

• 工业级精度定位

• 半导体技术

• 半导体测试

• 晶圆检测

• 平版印刷术

• 纳米压印

• 纳米测量

• 强磁场和真空中运动

增量编码器用于高精度位置测量

非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。

小型大行程纳米促动器

采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力

数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分辨率进行最小步进和推进运动。

适用于复杂真空应用

PI的压电电机原则上是真空兼容的，并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。