科研版无掩膜光刻机 高灵活性、高精度、无掩膜的优势，非常适用于科学研究。

ACA系列是科研版的无掩膜版紫外光刻机，其基于空间光调制技术，实现了数字掩膜光刻，**的灵活性使其成为科学研究的不二之选。设备搭载长寿命、高功率的紫外光源，设备稳定，上手简单。其独特的原位光绘和交互式套刻指引功能，让光刻和套刻更加容易和精准。ACA系列设备为科研工作提供了强大的支持，助力科学研究领域的发展和创新。

ACA无掩膜光刻机亮点：

特征尺寸0.8μm

6英寸光刻面积

高精度步进光刻

无掩膜光刻机