TGS300超环面光栅摄谱仪专为研究分析真空紫外光谱而开发设计。TGS300可在像面形成二维平场，配合阵列探测器实现真空紫外光谱范围内的一次性全谱采集。安装XY平台上的标准DN100CF法兰接口，可以方便地调整和优化阵列探测器的中心波长和聚焦特性。

技术特点

单片式光学结构确保光通量大化，高光学稳定性。

HJY的超环面光栅技术，全光谱范围内优异的消像差能力。

超长的40mm光谱长度，横向滑动CCD测量更宽的光谱，纵向滑动CCD优化成像质量。

光谱覆盖低至10nm，10-30nm具有超高分辨率。

支持超高真空度10^-9mbar，可接入同步辐射装置。

典型应用

紫外和紫外等离子体光谱分析

紫外光源表征

激光高次谐波研究

EUV光源表征

技术指标

附件

前镜腔，配备两块超环面镜，实现光源和单色仪之间的光学匹配

后镜腔，配备两块超环面镜，实现单色仪和样品室之间的光学匹配

样品室，可搭载4块直径不大于25mm的样品

偏振插片

制冷机，低至4K

真空泵