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干式真空泵A 100 L-A 200 L

上海伯东销售维修 Pfeiffer干式真空泵（多级罗茨泵）A 100 L-A 200 L，用于洁净制程的整体式干泵，紧凑设计，大抽速，低能耗，满足半导体行业机台内直接安装和快速抽空的设计要求，是load-lock、传送腔及其他非腐蚀性工艺的**解决方案。Pfeiffer 干式真空泵A 100 L排除了泵安装中的真空管路影响，通过使用 Pfeiffer整体式干泵，可降低真空管路安装、集成和调试的成本。Pfeiffer干式真空泵A 100 L高可靠性和长期稳定性使其脱颖而出，现已广泛应用于全世界范围内的 300 mm 半导体工厂。

干式真空泵A 100 L-A 200 L平均故障间隔时间超过 195000 小时，提供干燥无尘的洁净真空，适合在无尘室中使用，整体式干泵也为太阳能光电设备提供**解决方案。低噪音和低振动是该水冷型干泵的其他优势，小巧的体积保证了其在大型机台内集成的便利性，是各大设备厂商**。

干式真空泵A 200 L是针对高气流量应用的全新解决方案，抽速200 m3/h，再次展示出了其在整体式干泵市场中全球领导地位。

上海伯东 Pfeiffer 干式真空泵A 100 L-A 200 L 主要优点

高气流量，大抽速

结构紧凑，占地面积小

易于集成，运行成本低

低噪音和低震动，无油无尘

即插即用系统：集成型监察装置

干式真空泵RS232 / RS485 接口可选

Pfeiffer 干式真空泵A 100 L-A 200 L 应用行业

Load-lock 和传送腔

半导体生产

光伏

工业（低温，气体制造，激光源）

分析仪（用于电子显微术或表面分析的闸室）

Pfeiffer 干式真空泵A 100 L-A 200 L 技术参数

L:标准版本    ES:节能版本

干式真空泵A 100 L 标准版本

冷却水循环，在前端配置运行时间记录仪和三色 LED 指示灯时时显示泵当前状态。

主要在售型号：

A 100 L 标准版本，低电压，16 针 I/O

A 100 L 标准版本，低电压，19 针 I/O

A 100 L 标准版本，低电压，RS232/485 接口，16 针 I/O

A 100 L 标准版本，低电压，RS232/485 接口，19 针 I/O

A 100 L 标准版本，高电压，16 针 I/O

A 100 L 标准版本，高电压，19 针 I/O

A 100 L 标准版本，高电压，RS232/485 接口，16 针 I/O

A 100 L 标准版本，高电压，RS232/485 接口，19 针 I/O

A 100 L ES 节能版本

紧凑型干泵集成节能模块，有效减少了 50% 的耗电量。冷却水循环，在前端配置运行时间记录仪和三色 LED 指示灯时时显示泵当前状态。