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霍尔效应测试仪 ITO 薄膜测试案例

上海伯东某科研客户霍尔效应测试案例一

样品: ITO 氧化铟锡， 标记为 ITO1， ITO2， ITO3

样品薄膜厚度: 60 - 100 nm

样品尺寸: 10 * 10 mm

实验内容: 载流子浓度， 类型， 霍尔迁移率， 方块电阻

实验仪器: 上海伯东英国 NanoMagnetics ezHEMS 霍尔效应测试仪

测试温度和磁场温度: 300K RT 1 Tesla

* 在测试开始前， 仪器均经过标准样品校验. 所有样品根据 ASTM 标准.

样品 ITO1 测试结果:

I-V 测量结果

VdP 测量结果

测量头类型: RT Head; 磁场: 9677G; 厚度: 80nm

部分测试结论:

1. 得到的电阻值彼此相容.

2. 所有的IV 曲线都是线性的

3. 所有样本都是欧姆的，统一的，均匀的.

4. Van der Pauw 测试为了保证准确性， 测试了2次， 测试结果是相同的.

若您需要了解详情，欢迎联络“伯东企业（上海）有限公司”