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HITACHI EA6000VX 扫描X射线荧光光谱仪
HITACHI EA6000VX 扫描X射线荧光光谱仪图片
产地:日本
行业专用类型:通用
重复性:0.1%
能量分辨率:130eV
分析含量范围:1ppm~99.99%
元素分析范围:11 (Na) ~ 92 (U)
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产品介绍

EA6000VX是一款结合精密光学系统,准确快速移动平台,微小准直器高端Vortex检测器和特殊滤波器的高端应用XRF检测设备。可应用于印刷电路板、太阳能电池之快速扫描成份分析、异物方析、膜厚测定。

特 点:

◆无需使用液态氧的高感度实现

◆超高速扫描(500点连续测定)及指定位置测试双重功能

◆多功能自动定位 ◆凹凸样品自动补正

◆超高解析样品图像 ◆高精度膜厚测定

◆微小异物查找 ◆透视扫描

1. 高速扫描测量

通过结合了大幅提高的微小区域X射线莹光分析灵敏度和高速电动平台,能够快速获得二维扫描图像。特别是强化了对线路板中铅的扫描,配备了铅扫描专用滤波器。让1,000ppm以下无铅焊锡中的铅扫描变成简单可行。

2. 宽视野高清晰度光学系?

可获得250mm x 200mm的20μm以下高清晰度的光学影像。以该光学影像可以直接精确指定测量位置,让操作性得到飞跃般的改善。此外,该光学影像可以和通过高速扫描获得的扫描图像进行重迭,可在大范围内进行高精度分析。

3. 微小区域中微量金属的高速测量

实现了高密度微小X射线束以及配备的高计数率检测器,加上充分考虑到X射线莹光检测效率的设计,实现了高灵敏度化。微小区域中微量金属或薄膜都可在短时间内测量。即使是1mm x 1mm左右的微小区域也可以以100秒左右的速度测量其中的有害物质。

4. 无需液氮的高计数率检测器

作为标准配置本公司独有的无需液氮的高计数率检测器,省去了繁琐的液氮补给程序。仅需数分钟的开机时间,同时电子冷却的规格具备了优异的可信性。运用的技术可以减少在液氮制造、搬运时产生的二氧化碳,以及提高测量速度后节省下的电力等,是一款考虑到环保问题的先进仪器。

5. 微小区域的镀层厚度测量

可在十秒左右的时间完成对0.2mm x 0.2mm面积中Au/Ni/Cu(金/镍/铜)等薄膜多镀层的镀层厚度测量。此外,也可对无铅焊锡镀层或化学镍镀层中含有的微量铅进行分析。

基本规格

X射线发生部

照射方式

上部垂直照射方式

电压

最大50kV,多段电压切换

电流

4-1000μA,可做自动调整设定

准直器

4个,Φ0.2mm、Φ0.5mm、Φ1.2mm、Φ3mm (自动切换)

检测器

形式

Vortex硅半导体多阴极侦测器

冷却方式

电子冷却(不需要液态氮,也非冷冻机冷却)

一次滤波器

五种滤波器,6种模式可自动切换

样品观察

CCD监视器

高分辨率CCD彩色镜头 双系统

观察倍率

多倍数自动切换-

照明

LED灯,无影灯设计影像无阴影

同轴观察系

视野:6×4mm

分辨率:20um

WD:5mm、15mm、25mm电动

广域观察系

视野:250×200mm

分辨率:20um以下

自动桌面功能

指定测量位置

在画面上利用鼠标完成X-Y-Z的坐标输入

设定测量位置

原点的坐标和画像保存以及位置偏差角度的修正

确认测量位置

图表表示测量位置

再测量功能

通过和测量位置的连动,可以进行再测量

样品台

250(W)x200(D)mm

移动量

最大580(W)x450(D)x150(H)mm

最大样品厚度

150mm

载重量

5kg

电源容量,接地

AC 100V±10% 15A 2系统第3种接地

热门应用领域:

RoHS/WEEE合金分析镀层厚度分析映图扫描分析(Mapping)太阳能应用无卤素应用

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