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自动光学检测系统
热变形外貌检测仪
台阶仪
光学轮廓仪
膜厚测试仪
晶圆键合机
反应式离子蚀刻机
纳米压印模板
纳米压印机
光刻机
SU-8 2000及3000光刻胶
KMPR 1000光刻胶
PMGI/LOR剥离光刻胶
干膜光刻胶
数字脉冲延时信号发生器(BNC745新)
光功率计
激光器
PIXIS 科学级CCD探测器
PI-MAX4像增强探测器ICCD
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