一、应用领域
半导体制造、玻璃镀膜、太阳能电池、电子显微镜、冶金、等离子技术、医疗设备等领域
二、技术指标
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型号
CXF-320/3000
抽气速率（L/s）
3000
排气口法兰
KF40
进气口法兰
ISO‐F 320（其它法兰口需要定制）
DN320LF
极限压强
≦5×10‐7Pa
建议启动压强
<5Pa
额定转速（rpm）
21000
启动时间（min）
12
振动值（μm）
<0.05
建议前级泵（L/s）
15
水嘴
内径Φ10直插自密封
冷却方式
水冷
冷却水温度（°C）
20
冷却水流量（ L/min）
1
冷却水压力（mpa）
0.15
环境温度（°C）
5～45
安装方式
竖直、水平、倒立
重量（kg）
70
