扫描微波阻抗显微镜（sMIM）是AsylumResearch公司MFP-3D^TM和Cypher S^TM原子力显微镜产品上独有的一种进行高分辨电学表征的新技术。sMIM能够精确的探测材料微纳区域内电容和电阻的变化，能够广泛的应用各种线性和非线性的导体材料，半导体材料以及绝缘体等。和其它类似的技术相比，sMIM的横向分辨率更高(<50nm)；更灵敏的信噪比，即便是以80倍于同类技术的速度进行扫描时，其信噪比仍然高出其它技术十倍以上；此外sMIM技术中的测试功耗也要远低于同类技术。sMIM是基于PrimeNano公司的专利探针和电路系统开发而成。AsylumResearch 原子力显微镜是拥有sMIM技术的原子力显微镜。

·更多的信息 – DC 电容， DC 电阻， dC/dV，和 dR/dV

·更高的灵敏度 –比同类技术高十倍以上

·更高的横向分辨率 – 小于<50nm

·更快的成像速度 –扫描速度比同类技术高80倍

·更广泛的适用范围 –导体， 半导体和绝缘体