产品简介：

锇等离子镀膜机 (OPC) 是一种基于直流辉光放电的等离子镀膜设备。OPC 采用了全新的四氧化锇气体 PCVD方式获得锇膜。不同于传统的溅射和蒸镀，OPC 很好地解决了薄膜的颗粒及热损伤问题。

OPC 可以实现自动化操作，用于给 SEM、FE-SEM 样品镀导电薄膜或是给 TEM 样品镀支持膜。镀膜厚度从几纳米到几百纳米，甚至是 1 纳米以下的超薄膜。

OPC60A 标准型

可自动生长锇膜

• 阴极样品台尺寸：直径 60mm，以下任选其一：

  兼容直径 10mmSEM 样品托，7 孔位

  兼容直径 15mmSEM 样品托，4 孔位

  兼容直径 36mmSEM 样品托，1 孔位

OPC80T 高配型

可自动生长锇膜和萘膜

• 可自动生长锇膜和萘膜

• 可同时容纳 2 个直径 10mm 的 SEM 样品托，2 个直径 15mm 的 样品托，以及 1 个直径 32mm 的样品托

锇存储器

锇存储器带观察窗，可确定锇的剩余量。

存储器可单独取下并密封（冷冻保存），可保存较长时间，安全性很高。

应用：

• SEM、FE-SEM 样品镀导电膜

• TEM（FIB）样品镀保护膜

• AFM 样品镀保护膜

• STM 样品镀保护膜以及导电膜

• TEM 样品镀支持膜

产品特点：

设备性能

• 自动化控制，镀膜时只需设定薄膜厚度，镀膜过程自动完成

• 锇存储器可拆卸：具有密封式结构，可冷冻保存

• 镀膜时间短：只需几秒钟膜厚就可以达到纳米级

• 装有互锁回路：一但 OsO4 气体进入腔体，真空不达标，腔体就无法打开

锇导电薄膜性能

• 无颗粒：用 OPC 镀的锇导电金属膜是完全无定形的

• 锇膜均匀性极高

• 无热损伤：相比于热蒸镀和离子溅射，OPC 对样品没有热损伤

• 无电子损伤：锇膜硬度高、熔点高，不会因强电子束流受损伤

• 无污染：样品在阴极，表面只有锇阳离子，可以保证无污染

等离子体聚合萘膜性能

• 坚韧性：薄膜具有坚韧性，可承受 FIB 中的镓离子

• 抗热性

• 绝缘性

• 无颗粒

• 高均匀性

• 无热损伤

• 无电子损伤

产品参数：